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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63772
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497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1126
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 826
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2023
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490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1405
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4091
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 857
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 481
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482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2420
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