교수님 안녕하세요.

 


1.
http://pal.snu.ac.kr/index.php?mid=board_qna_new&category=67497&document_srl=78754
(Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate)

 

글 두번째 문단에 '다음으로 플라즈마 밀도를 제어하기 위해서 edge ring 혹은 confinement ring 등을 써서 플라즈마 확산을 줄이고 있습니다.'
부분에 대해 질문드립니다.
→ edge ring 혹은 confinement ring을 통해 "플라즈마 확산을 줄여" 플라즈마 균일하게 밀도를 제어한다는 말씀이신데,

 

두번째 문단 '가운데 밀도는 비교적 높고 가장자리로 가면서 밀도는 떨어지게 됩니다.'
→ 가장자리로 갈수록 플라즈마 밀도가 떨어지는데,
"플라즈마 확산을 늘려야" 플라즈마 밀도를 균일하게 제어할 수 있는 것이라 생각해 이에 대해 질문드리고 싶습니다.


2. Edge Ring이 플라즈마 밀도의 균일성을 높이는 원리를 설명해주실 수 있을까요?

 

 

항상 이 곳에서 많은 도움을 받고, 공부하고 있습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4873
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16212
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
61 진학으로 고민이 있습니다. [2] 745
60 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 736
59 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 726
58 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 725
57 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 704
56 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 700
55 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 689
54 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 686
53 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 678
» Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 676
51 문의 드립니다. [1] 674
50 RF 전압과 압력의 영향? [1] 673
49 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 671
48 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 670
47 플라즈마 충격파 질문 [1] 658
46 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 612
45 Collisional mean free path 문의... [1] 588
44 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 556
43 전자 온도 구하기 [1] file 550
42 교수님 질문이 있습니다. [1] 540

Boards


XE Login