안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.


제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.


제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리


이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.


답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92245
607 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
606 CVD 공정에서의 self bias [1] 3092
605 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3323
604 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1114
603 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1860
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1411
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1075
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 971
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1745
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2737
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1844
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3286
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2339
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1347
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2316
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3198
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 853
589 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1983

Boards


XE Login