안녕하십니까 얼마전부터 DBD Plasma Actuator에 대해서 대해 공부하고 있는 정원석이라고 합니다. 다름이 아니라 저에게 DBD Plasma Actuator의 원리에 대한 여러 이론들을 조사해오라고 교수님께서 시키셨는데요, 아무리 논문을 공부해봐도 발생원리가 여러가지일 것이라는 생각이 들지 않습니다. 대부분 발생원리에 대해서 적어 놓은 내용은 제가 보기에 다르다기 보다는 같다고 밖에 느껴지질 않네요. 거의 대부분의 논문에서 원리에 대해서는 그저 몇 줄정도만 적어두었기에 자료도 부족한 상황입니다. 현재까지 그 원리에 대해서는 확실하게 밝혀지지 않았다고 하는데 과연 그 가설들이 어떻게 되는지 몇 가지정도 알고 싶습니다.    

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91696
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1383
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1054
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 948
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1690
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2663
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1808
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3226
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2294
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2270
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
589 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1961
588 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3666
587 플라즈마 챔버 [2] 1206
586 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1040
585 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3565
584 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776

Boards


XE Login