Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] | 75407 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19148 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67532 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89320 |
| 568 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 908 |
| 567 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 909 |
| 566 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 915 |
| 565 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 921 |
| 564 | 고진공 만드는방법. [1] | 923 |
| 563 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 923 |
| 562 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 927 |
| 561 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 935 |
| 560 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 941 |
| 559 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 941 |
| 558 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 945 |
| 557 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 958 |
| 556 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 960 |
| 555 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 960 |
| 554 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 962 |
| 553 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 965 |
| 552 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 975 |
| 551 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 977 |
| 550 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 978 |
| 549 | 공정플라즈마 [1] | 981 |
반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.
이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.