Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.

2009.09.27 23:42

서현 조회 수:18004 추천:146

저희 장비에는  TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF  time을 주고 있습니다.

문제는 이 3시간 입니다.

어떤 사유로 실험을  반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐  TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...

제가 느끼기에  TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도  챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을  제트엔진 소리체크 합니다.

하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.

그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??

TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?

그것이 TMP OFF  인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..

인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서  자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68689
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92258
93 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
92 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1225
91 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1156
90 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
89 자기 거울에 관하여 1137
88 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
87 wafer bias [1] 1129
86 전자 온도 구하기 [1] file 1128
85 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1116
84 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1114
83 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1075
82 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
81 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1037
80 플라즈마 코팅 [1] 1036
79 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
78 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
77 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
76 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 966
75 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
74 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957

Boards


XE Login