Plasma in general RF 전압과 압력의 영향?

2021.12.06 14:03

피했습니다 조회 수:1676

안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20183
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92277
93 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1237
92 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1226
91 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1156
90 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
89 자기 거울에 관하여 1138
88 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
87 전자 온도 구하기 [1] file 1130
86 wafer bias [1] 1129
85 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1118
84 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1117
83 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1081
82 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
81 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1038
80 플라즈마 코팅 [1] 1036
79 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
78 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
77 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 999
76 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
75 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
74 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
쓰기
태그

Boards

XE Login