Sputtering 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
2019.03.04 10:48
안녕하세요.
PECVD로 탄소 박막을 합성하고, 표면을 Oxide 시키기 위해 plasma asher로 200W/30 min 동안
처리하였는데 반응이 없어 다른 방법을 모색중입니다.
그래서 스퍼터로 가능할까 싶어서 궁금증을 여기에 풀어 봅니다.
보통 O2/N2는 반응성 스퍼터링에 사용되는 것으로 알고 있습니다.
혹시나, (1) Ar 대신 O2 or N2만 주입해도 플라즈마가 형성이 가능한가요?
그리고 (2) 타겟없이도 플라즈마가 뜨는가요?
이 두 부분이 궁금합니다.
생뚱맞는 질문일수도 있지만,
답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76713 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68694 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92269 |
608 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
607 | sputtering | 18290 |
606 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18239 |
605 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
604 | ICP에 대하여 | 18196 |
603 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18193 |
602 | rotational vibration excitation | 18184 |
601 | 진로상담 | 18146 |
600 | 증착에 대하여... | 18101 |
599 | DBD plasma | 18088 |
598 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
597 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18033 |
596 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
595 | Plasma of Bio-Medical Application | 18007 |
594 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18004 |
593 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17971 |
592 | electrode gap | 17945 |
591 | 플라즈마 응용분야 | 17860 |
590 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17848 |
589 | capacitively/inductively coupled plasma | 17804 |