플라즈마 쉬스
플라즈마에서 생기는 쉬스(외장)이 전위차는 플라즈마 경계에서 생깁니다. 따라서 질문하신 내용, 즉 식각 플라즈마 내에서 wafer
stage 위의 wafer가 직접 플라즈마와 만나고 있음으로 이때 쉬스 전위는 wafer와 플라즈마 사이에 형성되는 것입니다. 물론, 만일
wafer를 제거하게 되면 당연히 stage표면과 플라즈마가 만나니 이 두 경계면에서 쉬스가 형성되겠지요. 아울러 stage위에 wafer와
같은 부도체 물체가 놓여 있는 경우 wafer표면에는 self bias에 의해서 전위가 낮아지게 됩니다. (도체에서는 이 같은 현상이 생
기지 않습니다.) 따라서 플라즈마는 wafer 표면의 전위를 자신의 경계면 전위로 생각하고 그 겨예 영역에서 쉬스가 형성됩니다.
질문자의 경우와 같은 식각 플라즈마에서 wafer bias를 인가하여 etching을 하는 경우 이 두가지, self bias와 sheath를 함께 생각
해야 합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91696 |
72 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134434 |
71 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23959 |
70 | Breakdown에 대해 | 21334 |
69 | 이온주입량에 대한 문의 | 20723 |
68 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18311 |
67 | 플라즈마의 어원 | 16329 |
66 | 확산펌프 | 20504 |
65 | 플라즈마에 관하여... | 18957 |
64 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18559 |
63 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
62 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17076 |
61 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21992 |
60 | ICP에 대하여 | 18194 |
59 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144263 |
58 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12349 |
57 | k star | 15955 |
56 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23426 |
55 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18190 |
54 | 핵융합에 대하여 | 8561 |
53 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27742 |