안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4912
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16246
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83572
41 교수님 질문이 있습니다. [1] 541
40 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 541
39 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 532
38 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 521
37 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 508
36 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
35 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 484
34 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
33 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 458
32 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 455
31 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
30 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 450
29 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 448
28 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 443
27 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
26 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 405
25 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 403
24 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 390
23 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 383
22 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 380

Boards


XE Login