안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16212
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
41 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 538
40 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 538
39 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 521
38 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 507
37 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 502
36 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
35 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 483
34 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
33 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 455
32 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
31 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 449
30 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 447
29 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 446
28 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 439
27 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
26 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 405
25 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 398
24 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 384
23 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 381
22 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 378

Boards


XE Login