안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5611
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16902
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84234
43 플라즈마 관련 교육 [1] 618
42 Collisional mean free path 문의... [1] 607
41 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 603
40 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 578
39 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 576
38 교수님 질문이 있습니다. [1] 569
37 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 566
36 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 553
35 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 508
34 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 503
33 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 494
32 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 475
31 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 471
30 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 464
29 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 461
28 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 457
27 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 444
26 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 438
25 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 433
24 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 425

Boards


XE Login