안녕하세요. 반도체 회산 근무중인 사람인데요.

궁금증이 있어 몇가지 질문 드립니다.

1.     Descum 기본 원리

*. RF + O2 를 이용한 Plasma 발생 및 Descum 진행 원리

*. RF + MW + O2 를 이용한 Plasma 발생 및 Descum 진행 원리

2.     Descum 시 발생하는 광원에 대하여..

*. Descum 시 발생하는 광원의 종류

è  Plasma 발생 파장에 따른 Graph화된 자료가 있으면 좀 더 쉽게 이해 될 것 같습니다.

è  해당 광원이 UV에 해당하는 광원 인가요?

3.     RF Generator

*. RF Generator의 기본적인 역할

*. RF Generator가 파장의 변화를 줄 수 있는지?(공정 조건은 동일하다는 가정하에)

질문이 많아 죄송합니다.

 답변 부탁 드립니다.

감사합니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49376
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59488
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74194
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 785
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 999
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 1803
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 349
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 651
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1524
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 297
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 394
429 자기 거울에 관하여 937
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 613
» Descum 관련 문의 사항. [1] 1915
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 362
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 653
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1111
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 307
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 4990
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 829
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 350
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 716
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 9842

Boards


XE Login