Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
2021.07.05 14:38
안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.
한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.
Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.
-> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.
RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서
나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.
그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.
감사합니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76650 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20147 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57148 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68668 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92125 |
| 587 | Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] | 969 |
| 586 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 974 |
| 585 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 977 |
| 584 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 983 |
| 583 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1]  | 990 |
| 582 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 991 |
| 581 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1003 |
| 580 | 고진공 만드는방법. [1] | 1006 |
| 579 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1010 |
| 578 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 1012 |
| 577 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1020 |
| 576 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1028 |
| 575 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1029 |
| 574 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1035 |
| 573 | 플라즈마 코팅 [1] | 1035 |
| 572 | Plasma Arching [1] | 1038 |
| 571 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1044 |
| 570 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1045 |
| 569 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1046 |
| 568 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1051 |