안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
563 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1062
562 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1063
561 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1074
560 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1079
559 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
558 전자 온도 구하기 [1] file 1099
557 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1099
556 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1101
555 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1109
554 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1114
553 wafer bias [1] 1119
552 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1120
551 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1122
550 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1124
549 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1125
548 자기 거울에 관하여 1130
547 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1133
546 Group Delay 문의드립니다. [1] 1135
545 공정플라즈마 [1] 1136
544 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141

Boards


XE Login