안녕하세요, KAIST 핵융합 및 플라즈마 연구실 소속 석사과정 권대호입니다.

다름이 아니라, 저희 연구실에서 사용하는 CCP 장비에서 접지 관련으로 보이는 문제가 발견되어 질문 드립니다.


첨부한 사진과 같이 구성되어 있는 CCP 챔버에서, 상부전극에는 13.56MHz RF Power 를 인가하고, 하부전극은 수도관에 접지해두었습니다. 또한, 챔버역시 동일한 수도관에 연결하여 접지하여 연결하였습니다. (접지 연결은 동축케이블을 사용하였습니다.)


이후 RF Power 를 인가한 뒤 하부 전극의 전압을 오실로스코프로 측정할 때, 해당 전극을 접지하였음에도 불구하고 13.56MHz 신호가 관측이 되었습니다. 수도관 자체 및 챔버에서 또한 13.56MHz 신호가 관측되었습니다. 

처음에는 RF Power 가 제대로 차페되지 않아 생기는 문제로 추측하여 RF Power 또한 수도관에 접지하였으나 동일한 현상이 발생하였습니다. 또한, RF Power를 챔버에 연결하지 않았을 때는 RF Power 를 인가하는 경우에도 수도관 접지에서 신호가 발생하지 않았습니다.


RF Power 인가 후 관측된 13.56MHz 신호의 평균값은 항상 0V로 관측되었습니다. 또한 RF Power 의 크기를 늘릴 때마다 신호의 Vpp 값이 증가하는 것을 관측하였습니다. (RF Power 자체의 Vpp값은 측정장비가 없어 알 수 없는 상황입니다.)


위와 같은 관측을 했음에도 불구하고, CCP 장비 및 전기 장비에 대한 이해도 부족으로 적절하게 접지가 이뤄져 있는 지 조차 판단이 어렵습니다.

이에, 다음 두가지 사항을 질문드립니다.

1. 일반적으로 CCP를 접지하는 방법 혹은 PAL 에서 CCP를 접지하고 있는 방법

2. 위와 같은 구성에서 접지가 적절하게 이뤄져 있는지를 체크할 수 있는 방법


부디 조언 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91540
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2559
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 539
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3300
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16638
558 알고싶습니다 [1] 1424
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2277
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 917
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 738
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2792
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1434
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2443
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 665
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1577
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4340
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1102
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10363
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2365
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 873
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3639
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 464

Boards


XE Login