Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.

2012.09.07 03:25

ysppaku 조회 수:54885

안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.

질문

1.VPP가 어떤건지?

2.VDC가 어떤건지?

3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?

위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.

참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.

정말 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92258
53 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
52 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 664
51 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 634
50 plasma 공정 중 색변화 [1] 602
49 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
48 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
47 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
46 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
45 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
44 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
43 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 555
42 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
41 self bias [1] 527
40 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 504
39 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
38 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
37 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
36 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
35 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
34 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 454
쓰기
태그

Boards

XE Login