안녕하세요. 최근 RF Power Reflect 감소를 위해 Plasma에 대해 공부하고 있는, 반도체 회사 직장인입니다.

 

다름이 아니라, RF Power의 Hunting성 Reflect를 감소하기 위해 Gas Flow를 Ramping 형식으로 평가한 자료를 보내되었습니다.

Gas를 이와 같이 점진적으로 증가시키며 Flow할 때와, 한번에 Set Flow를 했을 때

Plasma 형성의 차이와, 왜 이 같은 방식이 RF Power의 Hunting을 감소시키기 위한 방안인지에 대한 상관관계에 대해 궁금증이 생겨 글을 남기게 되었습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4866
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
21 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 372
20 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 361
19 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 359
18 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 353
17 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 335
16 플라즈마 관련 교육 [1] 330
15 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 318
14 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 307
13 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 306
12 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 293
11 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 293
10 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 292
9 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 291
8 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 288
» RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 238
6 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
5 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 206
4 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 203
3 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 194
2 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157

Boards


XE Login