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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[266]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20144 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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566 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
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565 |
연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 841 |
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564 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1700 |
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563 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2223 |
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562 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2572 |
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561 |
Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 545 |
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560 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3318 |
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559 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16646 |
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558 |
알고싶습니다
[1] | 1445 |
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557 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2305 |
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556 |
Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
[2] | 941 |
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555 |
안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
[2] | 751 |
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554 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2809 |
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553 |
PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1440 |
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552 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2465 |
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551 |
접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
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550 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1594 |
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549 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
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548 |
Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1116 |
