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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76711
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68687
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92252
568 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1056
567 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1056
566 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1058
565 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1063
564 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1070
563 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1075
562 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
561 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1101
560 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1109
559 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1112
558 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1114
557 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1116
556 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1120
555 전자 온도 구하기 [1] file 1127
554 wafer bias [1] 1129
553 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
552 자기 거울에 관하여 1137
551 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
550 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
549 공정플라즈마 [1] 1145
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