공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
| 76727 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20183 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57167 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68699 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92278 |
569 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
[1] | 960 |
568 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1486 |
567 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1156 |
566 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 5528 |
565 |
연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 844 |
564 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1703 |
563 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2236 |
562 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2579 |
561 |
Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 546 |
560 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3325 |
559 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 16654 |
558 |
알고싶습니다
[1] | 1457 |
557 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2314 |
556 |
Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
[2] | 949 |
555 |
안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
[2] | 755 |
554 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2819 |
553 |
PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1441 |
552 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2476 |
551 |
접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다
[1] | 696 |
550 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1598 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.