안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5836
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76026
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 314
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5256
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 836
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 379
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 726
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 10240
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 337
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 533
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 441
414 etching에 관한 질문입니다. [1] 1129
413 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2651
412 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 4583
411 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 4504
» (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 324
409 Si Wafer Broken [2] 1585
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 917
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 771
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 781
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1345
404 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 20115

Boards


XE Login