안녕하십니까.

산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.


1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?

  - 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..

2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?


자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.


오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5604
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16885
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51347
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64210
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84186
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 856
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 507
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2913
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 317
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1587
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 984
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1004
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 772
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1455
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1827
461 Wafer particle 성분 분석 [1] 1972
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1301
459 charge effect에 대해 [2] 1189
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1015
457 터보펌프 에러관련 [1] 1500
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 443
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 887
454 플라즈마 충격파 질문 [1] 676
453 ESC Cooling gas 관련 [1] 2934
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 755

Boards


XE Login