Remote Plasma 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
2019.06.25 10:26
회원 가입했어요
유용한 사이트 운영 감사 드립니다
RPS(Remote plasma source) 에 들어가는 알미늄 부품 중기가
수출하고자 하는데요.
이제품이 반도체 CVD CHAMBER MAKER에 들어가는 부품이라고 합니다
CHAMBER 내부 구조도를 간략히 개념도로 알려 주실수 있나요?
-챔버 내에 어느부위에 몇개가 들어 가는지요?
- RPS 가 CVD 챔버에서 어떤 기능을 하는지요?
- 세계적 선도 RPS 기업은 어디 인지요?
-플라스마 여러 소스중 RPS 의 비중은 어느정도나 되나요? 채용시 장점은 ?
evision21 드림
trade consultanta
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] | 74898 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18754 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56234 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66728 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88159 |
| 499 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2439 |
| 498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 482 |
| 497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1394 |
| 496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1162 |
| 495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 2623 |
| 494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 945 |
| 493 | 질문있습니다. [1] | 2332 |
| 492 | chamber impedance [1] | 1843 |
| 491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 2307 |
| 490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 1774 |
| 489 | 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] | 4700 |
| 488 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1226 |
| 487 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 579 |
| 486 | Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] | 5923 |
| 485 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1283 |
| 484 | ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] | 994 |
| 483 | matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] | 2491 |
| 482 | HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? | 2665 |
| 481 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 637 |
| 480 | wafer bias [1] | 960 |