안녕하세요

혼자 해결하려고 몇달을 고민하고 도전하다가, 비전공자의 한계를 극복하지 못하고 글 남깁니다..


고전압 진공관 관련해서 실험을 하고 있는 직장인입니다.


고전압 진공관을 작동할 때에, 진공관은 대기중(질소로 퍼징하지 않고)에서 펌프로 대략 10e-5 이상으로 진공을 유지하고 있습니다.

제가 알고 있는 지식선에서는 진공관에서 고전압을 인가 할 경우에는 어떠한 현상도 발생하지 않아야 합니다.


그런데, 고전압을 인가해주면 글로우 방전과 비슷하게 보라색과 분홍색이 섞인듯한 빛을 띄는 에너지 파?(글로 방전 예상)가 이동하는 것을 확인하였습니다. 그 이후 조금 더 높은 전압을 인가했을 때에는 에너지 파?가 아닌 단순히 형광등 처럼 빛(플라즈마 예상)이 나기만 했습니다.

이럴 경우에 진공이 안좋아서 전리 여기현상으로 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것으로 예상됩니다.


하지만, 진공의 문제가 아니라 다른 문제가 있다고 판단하여 좀더 높은 전압을 인가하였을 때, 아크가 발생하면 빛이 사라지는 경우를 확인했습니다. 

이런 경우가 될 경우에는 빛이 발생하는 현상은 진공과 관계가 없다고 판단되고, 진공관 내 어떠한 표면이 불안정하여 플라즈마 현상의 원인이 되는 것으로 판단됩니다.. 


그러나, 그 진공관에서 전극 사이에 가장 가까운 거리를 가지는 것은 절연체 밖에 없습니다..

 

여기서 질문을 드리고자 하는 것은 아래와 같습니다.


1. 진공관에서 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것을 진공만의 문제일 수 있을까요?

2. 진공관의 절연부분이 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?

3. 진공관 내 이물질 흡착으로 인하여 고전압 인가 시에 글로방전 또는 플라즈마 발생하는 것의 원인이 될 수 있을까요?

4. 진공관 내 절연거리가 부족하여 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?


제가 더 필요하게 알아봐야 할 부분이 있는 것으로 보이시면 논문이나 서적 추천 부탁드립니다..


글 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2566
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 542
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3308
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16645
558 알고싶습니다 [1] 1438
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2289
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 926
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 746
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2805
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2451
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 673
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1588
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] update 4365
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1109
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10370
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2388
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 878
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3673

Boards


XE Login