Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1388

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20173
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4484
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1120
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10378
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2451
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 889
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3746
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2260
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1792
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3699
539 플라즈마 살균 방식 [2] 11446
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1376
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2391
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 434
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1087
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3191
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6434
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1242
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2378
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1906

Boards


XE Login