슬라이드2.JPG
슬라이드3.JPG


슬라이드4.JPG


슬라이드5.JPG


슬라이드6.JPG


안녕하세요.

코로나방전, 이온풍에 굉장히 관심이 많은 학생입니다.

물어볼곳이 없어 많이 힘드네요 ㅠㅠ

제가 공부한 내용들을 파워포인트로 정리 해봤는데요

혹시 내용이 맞는지 어디가 잘못되었는지 궁금합니다.

조언 부탁드립니다.

감사합니다~!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3670
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2228
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1730
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3614
539 플라즈마 살균 방식 [2] 11415
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1364
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2340
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 424
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1072
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3111
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1234
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2345
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1875
529 질문있습니다 교수님 [1] 22001
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1696
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 14426
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1888

Boards


XE Login