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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69625
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583 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1099
582 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1103
581 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1103
580 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1107
579 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1110
578 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1115
577 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1129
576 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1130
575 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1132
574 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1138
573 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1142
572 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1162
571 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1165
570 자기 거울에 관하여 1176
569 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어] [1] 1176
568 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1182
567 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1186
566 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1188
565 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1199
564 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1203
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