안녕하세요..

저는 반도체회사에 근무하는 직장인입니다

RF Generator와 Impedance 관련 궁금한 것이 있어 자문을 얻고자합니다


현재 CVD 공정에서 일하고 있으며, ICP 설비를 다루고 있는데,

동일한 설비이나 Turbo Pump Model이 달라(RPM이 다름) 동일한 Gas 량을 Chamber에 넣어도 Chamber Pressure에 차이가 납니다

실제 공정진행 시 4.7mT,  6.7mT로 약 2mT 차이가 발생하는데요..

이러한 경우에 챔버의 Impedance에도 차이가 나는지, 또 차이가 난다면 어느정도가 나는지 알고 싶습니다.


또 하나는 RF Generator에 관한 질문인데요..

RF Generator는 2MHz를 사용하며, 3000KW출력을 내는 4개의 P/A Board로 구성되어 있어 최대 12000KW 출력을 낼수 있습니다.

P/A Board간의 Current Ballance가 중요하다고 하는데, 왜 중요한지 알고 싶으며,

현재 P/A Board 의 발열에 의한 Burnning 문제가 있는데, 이 Board 간 Current Ballance가 발열에도 영향을 미치는지 알고 싶습니다.


수식으로 설명이 가능하다면 더 이해가 잘 될 거 같은데.. 답변 부탁드립니다.


 

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