안녕하십니까? 대학원에서 플라즈마 상태에 따른 박막의 특성을 연구하고 있는 학생입니다.

현재 연구실에서 OES를 사용하고 있는데, 분석 법 중에서 Actinometry 법 외에 excitation temperature를 구할 수 있는 것을 뒤늦게서야 알게 됐습니다.

몇몇 논문을 봤을 때 랭뮤어 탐침 법으로 electron temperature를 구하고, OES로 excitation temperature를 구한 결과를 비교했을 때 같은 경향성을 나타낸다고 봤습니다. 

여기서 몇 가지 질문할 사항이 있습니다.

1. 그렇다면 OES를 통해 확인하고자 하는 species의 excitation temperature를 구하여, species가 플라즈마 내에서 대략적으로 어떠한 상태인지를 경향성을 확인할 수 있지 않나요?

2. 그리고 electron temperature와 excitation temperature의 차이를 명확하게 모르겠습니다. 간단하게 설명을 부탁드릴 수 있을까요?


감사합니다!.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [126] 5571
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16853
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64184
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84145
450 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2440
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 358
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1012
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 552
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 573
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 708
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 699
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 456
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 965
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 301
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 357
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2146
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1116
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 997
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1502
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2538
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 459
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 844
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1763
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 378

Boards


XE Login