Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.
2018.10.24 11:25
안녕하세요.
플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.
한가지 질문 드릴게 있어서요,
Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서
두개의 matching box로 가게 가능 할까요?
즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.
이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서
어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?
관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76711 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20163 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57163 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68686 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92251 |
548 | Sputter | 15881 |
547 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15802 |
546 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15645 |
545 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15644 |
544 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15620 |
543 | 핵융합반응/플라즈마 | 15518 |
542 | In-flight plasma process | 15504 |
541 | 우주 플라즈마 | 15347 |
540 | 박막 형성 | 15299 |
539 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |
538 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
537 | 우주 플라즈마 | 14785 |
536 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14777 |
535 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14733 |
534 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
533 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
532 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14456 |
531 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
530 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14141 |
529 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
가능하지 않을 이유가 없을 것 같습니다만, matcher 동작이 매우 어색할 것 같고, 공정 제어에 matcher의 성능은 매우 중요한 인자이므로 metcher 반응을 늦게 만드는 요인은 가능한 제거하는 것이 좋을 것 같습니다.