Plasma Source Plasma Dechuck Process가 궁금합니다.
2020.02.02 02:25
안녕하세요 저는 반도체관련 업체에서 일하고 있는 최철운입니다.
ESC쪽을 공부하면서 Plasma Dechuck process가 궁금해졌는데요.
J-R TYPE ESC 같은 경우 일반적으로 ESC쪽의 Voltage를 끈 후 wafer의 잔여 전하를 Plasma를 이용해 dechuck을 한다고하는데 이는 어떤 process로 행해지는 지 궁금합니다. 체 추측으로는 plasma들이 wafer를 때리면서 중성화를 시켜 dechuck을 시킨다고 생각이 되는데 맞는지요?
또한 궁금한게 Columb Force방식의 ESC는 voltage를 끌시 잔여 전하가 남지 않기때문에 바로 Dechuck이 되며 plasma를 킬필요가 없다고하는데 Plasma dechuck을 사용하여 particle 개선 효과가 있는지 궁금합니다.
Plasma Dechuck을 사용할시 챔버 내의 잔류 가스들을 가두고 wafer표면에 떨어지게 막으면서 pump쪽으로 흐르게하는 것인가요? 어떤 원리로 particle 제거 효과가 있는지... 궁금합니다.
감사합니다~
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
543 | Sputter | 15867 |
542 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15790 |
541 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15638 |
540 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15616 |
539 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15610 |
538 | 핵융합반응/플라즈마 | 15507 |
537 | In-flight plasma process | 15501 |
536 | 우주 플라즈마 | 15342 |
535 | 박막 형성 | 15296 |
534 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15145 |
533 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
532 | 우주 플라즈마 | 14785 |
531 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
530 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14730 |
529 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14689 |
528 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
527 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14444 |
526 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14428 |
525 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14135 |
524 | 플라즈마의 상태 | 14067 |