안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79589
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21343
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58134
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94607
584 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1101
583 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1107
582 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1108
581 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1110
580 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1111
579 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1114
578 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1119
577 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1135
576 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1136
575 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1137
574 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1142
573 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1145
572 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1168
571 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1172
570 자기 거울에 관하여 1176
569 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어] [1] 1181
568 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1188
567 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1191
» Plasma Arching [Plasma property] [1] 1191
565 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1202

Boards


XE Login