Collision 충돌

2004.06.19 16:55

관리자 조회 수:17726 추천:225

충돌에는 탄성충돌과 비탄성충돌이 있다고 했습니다. 플라즈마의 발생은 주로 비탄성 충돌 중에 이온화 충돌 과정을 통해서 중성 입자들이 전하를 갖는 이온과 음전하의 전자로 이온화되고 이러한 반응이 지속적으로 일어나서 다수의 전자들과 이온들이 공간내네 존재하는 것이 플라즈마고 하였습니다. 여기서 이온화 과정이 일어나기 위해서는 중성입자가 이온화에 필요한 에너지가 전달되어야 할텐데 이 에너지를 전달하는 전달자가 주변에 있던 자유전자들이라 했습니다. 이들 자유전자들은 전기장하에서 쉽게 에너지를 얻으며 중성입자와 충돌하게 되는데 한번의 충돌에 의해서 중성입자들이 이론화에 필료한 에너지를 갖게 되는 것은 아니므로 잦은 충돌로 인한 에너지 전달이 필요한 것입니다. 또한 한번의 충돌에서도 효율적으로 전자가 갖고 있는 에너지가 전달되어야 할것입니다. 아울로 한번 충돌레 참여한 자유전자는 충돌 후에도 에너지를 계속 얻게되면 다음 충돌에서도 이온화 과정에서 자신의 역활이 유지될 것입니다. 이러한 조건들이 잘 형성되기 위해서는 자유전자가 에너지를 얻는 공간이 필요할 것이며 충돌 빈도가 너무 높지 않아야 할 것 입니다. 예를 들면 권투를 한다고 합시다. 이때 권투를 출근길 전철속에서 한다면 상대방을 아무리 때려도 효율적으로 때리기 힘들 것 입니다. 비록 잦은 주먹을 내더라도 상대가 가까이 있어서 상대에게 효률적인 가격이 되기는 힘듬니다. 비교적 팔길리가 제개로 펴질 공간이 마련되어야만 효율적인 공격을 이룰 수 있습니다. 대기압 출라즈마에서는 위에서 말한 충돌에 칠요한 위에 조건이 유지되기 매우 어려워 플라즈마 발생 및 유지가 어렵습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [295] 77444
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20550
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57476
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69003
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93066
20 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 331
19 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 311
18 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 305
17 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 233
16 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 231
15 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 208
14 Microwave & RF Plasma [1] 193
13 corona model에 대한 질문입니다. [1] 181
12 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 176
11 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 176
10 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 175
9 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 173
8 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 158
7 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 154
6 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 148
5 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 104
4 플라즈마 사이즈 측정 방법 [1] 88
3 Druyvesteyn Distribution 70
2 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] 55
1 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 47

Boards


XE Login