Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
2018.12.30 00:05
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.
최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데,
1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?
2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?
바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20172 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92274 |
529 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13201 |
528 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
527 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
526 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12756 |
525 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12482 |
524 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12354 |
523 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11446 |
522 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11407 |
521 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11316 |
520 | DC bias (Self bias) [3] | 11258 |
519 | RGA에 대해서 | 10540 |
518 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10378 |
517 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10353 |
516 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10344 |
515 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10298 |
514 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9958 |
513 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9849 |
512 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9842 |
511 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9665 |
510 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
도움이 되실지 모르겠는데, 본 게시판 (상단에 보시면 항목을 나누어 놓았는데, chamber component 에 들어가면 matcher 항목)에서 토의된 내용을 확인해 보시기 바랍니다. 설비 이슈가 있었다면 chamber impedance가 바뀌었을 확률이 클 것도 같습니다.