안녕하세요

반도체쪽에서 일하는 직장인 입니다.

다름이 아니라 CVD공정 양산 설비 Depo시 간헐적으로  Plasma On시 초기 2초간 Reflect가 발생하더라구요...

이와 관련하여 해당 Chamber Issue로는  Plasma On시 Load 값 Issue가 있어 Matcher교체 하였구요. 

이 후 동일 문제로 RF Filter 교체 하였고 접지Cable Resetting 하였고 Heater 교체도 하였습니다.

이 후에 초기 Reflect가 발생 하였다는 것을 알게 되어 초기 Reflect 관련 문제를 해결하려고 하는데

아직 정확한 원인을 찾지 못하여 이렇게 많은 분들께 조언 구합니다.

실제 Fab에서 양산 설비이기 때문에 Gas 유량, 압력, 동축 Cable 길이 등은 다른 양산 설비와 동일 하구요. (실제 확인도 하였습니다.)

Generator에서 인가되는 Power도 문제 없는 것을 확인하였습니다.

추가로 어떤 부분을 확인하면 도움이 될 지 많은 분들의 조언 부탁드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5604
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16885
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51347
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64210
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84186
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 379
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 464
429 자기 거울에 관하여 1030
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 720
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 2597
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 463
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 767
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1261
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 364
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5690
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 974
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 429
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 889
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17424
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 388
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 646
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 619
414 etching에 관한 질문입니다. [1] 1559
413 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2799
412 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5007

Boards


XE Login