Sheath Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
2012.10.16 12:52
반도체업종에서 종사하고있고 얕으나 RF를 이용한 Plasma에 대해 공부를 하는 사람입니다.
질문은 플라즈마 반응용기내에서 발생되는 플라즈마는 빛을 발생시키는데 쉬스영역은 하전입자 밀도가 낮기 때문에
발광현상이 없다고 알고있습니다. 또 쉬스는 부도체, Floating된 물체 표면에 플라즈마를 감싸는 형태로 존재한다고
알고있습니다. 그렇다면 플라즈마 반응용기는 Bulk 플라즈마를 제외하고 모든 영역이 쉬스로 감싸져있다고
생각하면 틀린건가요?
또 만약 쉬스가 반응용기내에서 Bulk 플라즈마를 감싸고 있는 형태라면 반응용기를 관찰하기 위한 Glass view port또한
감싸져 있을텐데 view port에서는 Bulk 플라즈마에서 발생되는 빛이 보입니다. 이건 어떻게 이해해야 될까요?
이해하기 쉽게 설명좀 부탁드립니다. 감사합니다.^^
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76538 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
523 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13198 |
522 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13042 |
521 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12809 |
520 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12733 |
519 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12432 |
518 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12348 |
517 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11415 |
516 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11292 |
515 | DC bias (Self bias) [3] | 11217 |
514 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11070 |
513 | RGA에 대해서 | 10534 |
512 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10370 |
511 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10336 |
510 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10280 |
509 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10223 |
508 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9905 |
507 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9841 |
506 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9816 |
505 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9654 |
504 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9621 |
플라즈마의 대부분의 빛은 전자 충돌에 의해서 여기된 원자 혹은 분자 및 이온들이 기저상태로 돌아오면서 방출하게 되는 원자 반응 현상으로 대략 3-4eV 정도의 에너지를 가진 빛은 가시광선으로 눈에 보이게 됩니다. 하지만 다양한 여기 에너지가 존재하고, 그 에너지는 원자 종에 따라 틀려서 분광신호로 부터 가스 종을 역으로 추적하기도 하여 OES를 이용한 EPD가 그 활용 예입니다. 상대적으로 여기 반응이 많이 일어 날 수 있는 곳은 전자가 많은 bulk 영역이 되겠으며 따라서 view port를 통해서 보이는 빛은 대부분 bulk 영역에서 발생한 빛을 보고 있는 것이라 할 수 있고, 한편 인가 전력을 바꾸면서 빛의 세기를 관찰해 보거나. bias power르 바꾸면서 빛의 세기의 변화를 관찰해 봄으로써 빛 발생의 위치를 확인해 볼 수 있을 것입니다.