ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7589

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
524 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13198
523 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13042
522 반응기의 면적에 대한 질문 12809
521 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12733
520 ICP와 CCP의 차이 [3] 12431
519 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12348
518 플라즈마 살균 방식 [2] 11415
517 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11292
516 DC bias (Self bias) [3] 11217
515 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11069
514 RGA에 대해서 10534
513 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10369
512 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10336
511 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10280
510 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10223
509 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9905
508 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
507 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9816
506 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9654
505 대기압 플라즈마에 대해서 9621

Boards


XE Login