Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
2018.11.20 16:00
안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.
RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변) 기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.
Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?
주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.
조언 부탁드립니다.
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지나가다 도움이 되실까 답변을 남깁니다.
임피던스 변환 공식은 1/jwc 또는 jwL 입니다. w가 f를 포함하므로 주파수에 따라 임피던스가 변하므로 Phase도 변합니다.
(인가된 Power가 같을 때) Irms가 같다는 의미는 임피던스의 실수 값은 변하지 않는 다는 뜻입니다.
임피던스의 실수값은 변하지 않고 허수값이 주파수 변화에 따라 변하므로 이에 상관된 Vrms는 따라 변화 합니다.