제가 얼마전에 회사에 입사하였는데 일하는 부서도 플라즈마파트가 아님에도 뜬금없이 숙제를 하나 받았습니다.

다른건 하나도 가르쳐 주지 않고 질소를 1로 했을때 암모니아와 아르곤의 C.F.를 알아오라네요...

아무리 찾아도 무슨말인지도 모르겠습니다ㅠㅠ

어뜨케 어뜨케 간신히 찾아다니다 보니 mass flow에 관련된 거 같긴한데 이마저도 모르겠습니다.

저도 아는게 하나도 없어서 이렇게 밖에 질문 못하는점 양해 부탁드립니다.

혹시 아시는분 계시면 댓글이나 메일로 답장 부탁 드리겠습니다.

부단히 공부해서 다음에 질문할때는 초보티를 벗어나도록 하겠습니다.

감사합니다.

메일주소는 : say2541@naver.com 입니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1879
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11070
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2256
500 공정플라즈마 [1] 1136
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2789
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1476
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3316
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1146
493 질문있습니다. [1] 2545
492 chamber impedance [1] 2003
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3188
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2092
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5021
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1363
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1618
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1159

Boards


XE Login