ATM Plasma 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다.
2012.08.01 13:40
안녕하세요
상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.
1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는
전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된
헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.
2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서
-OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가
-OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..
우선은 두가지 문의 드립니다.
제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68698 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
509 | ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] | 3646 |
508 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
507 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1226 |
506 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2971 |
505 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 541 |
504 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1600 |
503 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1934 |
502 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11320 |
501 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2315 |
500 | 공정플라즈마 [1] | 1145 |
499 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2804 |
498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1688 |
496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1506 |
495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3382 |
494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
493 | 질문있습니다. [1] | 2571 |
492 | chamber impedance [1] | 2009 |
491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3273 |
490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2128 |
질문하신 내용들은 모두 유전체 격벽 방전 (dielectric barrier discharge :DBD)에 해당하므로 이러한 플라즈마 방전 메카니즘에 대해서 먼저 이해해 보시는 것이 질문을 해결하는데 도움이 될 것입니다. DBD의 기본 원리에 대해서는 이미 소개한 바 있으며, 관련 정보를 얻는데는 어려움이 없으실 것입니다.
하지만 플라즈마 성분이 인체에 미치는 영향에 대해서는 다른 전문가의 의견을 기다려야 할 것 같습니다. 특히 이 분야는 플라즈마-바이오 및 의학 분야에서 활발하게 연구 되고 있어 plasma-bio 혹은 plasma-medicine으로 참고자료를 찾아 보시면 도움이 될 수 있겠습니다. (이와 관련된 심포지움이 있어 소개합니다. 2012년 8월 12일-14일 3일간 광운대학교에서 열리며 www.pbrc.or.kr을 참고하시기 바랍니다)