안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20181
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3646
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1226
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2970
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 541
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1600
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1934
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11319
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2315
500 공정플라즈마 [1] 1145
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1688
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1506
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3382
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1157
493 질문있습니다. [1] 2571
492 chamber impedance [1] 2009
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3273
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2128

Boards


XE Login