안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1200
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 950
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49376
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74194
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 602
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1355
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 5559
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1734
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1113
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1063
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 399
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1772
349 RF frequency와 RF power 구분 26272
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1373
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1694
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 483
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2524
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 4716
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7769
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1462
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 271
» 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 580
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 3743
338 가입인사드립니다. [1] 1542

Boards


XE Login