RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다  커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1191
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 931
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49373
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59475
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74165
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 602
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1354
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 5555
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1733
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1111
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1063
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 399
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1772
349 RF frequency와 RF power 구분 26269
» RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1371
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1693
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 483
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2524
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 4711
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7769
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1461
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 271
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 580
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 3736
338 가입인사드립니다. [1] 1542

Boards


XE Login