안녕하세요 저는 유니스트에 재학중인 대학원생 홍석모입니다.


제가지금 ICP CVD장비를 사용하고 있는데 플라즈마에 대한 배경지식이 없어서 혹시나 도움이 될까 글을 남겨 봅니다.


지금 저희가 쓰고 있는 장비의 스펙에 대해서 간단히 설명드리면

cylinder type

출력 주파수 13.56MHz 

주파수 안정도 ±0.005% 

RF 출력 임피던스 50 ohm nominal 

AC 입력Power Line 208/220/230 Vac/단상 50-60Hz 

정격RF Power Output YSR-06MF: 600W @ 50 ohm. 

RF Output Connector N Type 

DIMENSION 482W * 458D * 178H / 36Kg

그리고 작동 압력은 0.1 torr에서 0.01torr사이에서 작동 하고 있습니다.


제가 궁금한것은 power와 ionenergy사이의 관계를 알고 싶고, 시뮬레이션이 가능하다면 어떤 프로그램으로 할수 있는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.


감사합니다.


홍석모.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1689
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5776
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76008
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1406
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 532
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 670
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 772
359 DC bias (Self bias) [3] 9387
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 10194
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 615
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1369
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 5669
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1772
» ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1161
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1079
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 404
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1803
349 RF frequency와 RF power 구분 26731
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1398
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1792
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 488
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2566
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5095

Boards


XE Login