Others Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
2017.11.24 12:13
Diamond tip으로 insulator, semiconductor, conductor를 긁어서 깨뜨리는 경우, 3 경우 모두 플라즈마가 생기고 이 때 insulator>semiconductor>conductor 순으로 electron 의 에너지가 높은 것으로 알려져있습니다.
( insulator : several hundred to keV, semiconductor : 0~100 eV, conductor : negligible )
저는 Ceramic Powder (Y2O3 ~900nm) 를 아음속으로 기판에 분사시켜서 증착하는 Aerosol Deposition 중에도 플라즈마가 생기는 것을 PMT 센서로 계측하고, 이를 증착에 미치는 영향과 연관시키려고 합니다.
질문 사항은 다음과 같습니다.
1. 일반적으로, E-field를 가해서 플라즈마를 생성할 때, electron energy 가 어느 정도 쯤 되나요?
Tribo-Plasma 가 발생하면서 생겼다고 주장하는 keV의 높은 에너지의 전자도 Tribo-Plasma에 의한 것으로 생각할 수 있을까요? 아니라면 다른 어떤 요인이 있을까요?
2. 상온 대기압 하에서 수 keV의 전자가 방출된다면 이 전자는 몇 m 의 거리를 움직일 수 있을까요? 그것을 대략적으로 계산할 수 있는 식은 어떤 것이 있을까요?
3. 플라즈마가 생겼다면, light emission 을 동반할 것이기 때문에, 200~780 nm 의 광을 측정할 수 있는 PMT 센서로 계측 중입니다. PMT Sensor가 기판으로부터 약 3~4cm 정도 떨어져있는데, 특정 조건(증착 조건 : 분말이 깨지는 조건)에서 오작동을 합니다. 수 keV의 전자가 방출되었을 때 계측기에 영향을 미칠 수 있을까요?
4. 수 um 영역에서 플라즈마가 생겼을 경우 이 때 생성되는 열에너지가 어느 정도가 될까요? 온도가 어느 정도로 증가할까요?
Ceramic 이 깨질 때 형성되는 E-field 는 약 4.4*10^5 V/cm 라고 합니다. 주변 분위기는 Air 로 유지되고 있습니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76692 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68681 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
507 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9515 |
506 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9504 |
505 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
504 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9222 |
503 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9022 |
502 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8976 |
501 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8917 |
500 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8738 |
499 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8710 |
498 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8633 |
497 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8615 |
496 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8589 |
495 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8578 |
494 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8571 |
493 | 핵융합에 대하여 | 8563 |
492 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
491 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8118 |
490 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8114 |
489 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
488 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8032 |