DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76718 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20171 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
508 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
507 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1226 |
506 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2967 |
505 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 541 |
504 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1597 |
503 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1933 |
502 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11316 |
501 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2313 |
500 | 공정플라즈마 [1] | 1145 |
499 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2804 |
498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1688 |
496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1506 |
495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3382 |
494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
493 | 질문있습니다. [1] | 2571 |
492 | chamber impedance [1] | 2009 |
491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3271 |
490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2127 |
489 | 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] | 5065 |