Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20184 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
| 509 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9519 |
| 508 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9507 |
| 507 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
| 506 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9227 |
| 505 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
| 504 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
| 503 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
| 502 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 501 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8720 |
| 500 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8643 |
| 499 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8618 |
| 498 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8594 |
| 497 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
| 496 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8572 |
| 495 | 핵융합에 대하여 | 8563 |
| 494 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8136 |
| 493 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 492 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 491 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 490 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8034 |
전류가 떨어지는 이유는 전극에 하전입자가 덜 주입되고 있기 때문일 것 입니다. 따라서 전극이 부도체화 되거나 먼지(파티클들이 쌓이면) 전극 전류가 순간 떨어지지 않을까요? 일시적으로 전극 코팅이 심하게 되면 전류가 떨어지며 전극이 방전 전극을 겸하고 있으므로 방전 특성도 좋지 않게 되겠습니다. 코팅된 전극이 복원된다면, 즉 코팅이 떨어져 나가게 된다면 방전은 다시 복귀하게 될 것입니다. 따라고 현재 집진기 구조에서 전극 상으로 코팅되는 현상을 제어하기 위한 전극 설계 혹은 방전기 운전 (펄스 주기 등)모드의 개발이 필요할 것 같습니다.