안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [298] 77521
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20599
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57537
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69043
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93190
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3391
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6491
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1274
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2459
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1977
529 질문있습니다 교수님 [1] 22348
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1806
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 460
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 14527
» RF generator 관련 문의드립니다 [3] 2012
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1395
523 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6977
522 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1208
521 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1265
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 4082
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2344
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17754
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1105
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3792
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 603

Boards


XE Login