안녕하세요.

CVD공정쪽에서 일하고 있는 엔지니어 반형진입니다.

a-Si 증착 시 Vdc값이 증착된 막 내의 수소량에 어떻게

영향을 미치는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [301] 78014
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20833
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57735
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69249
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93625
537 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1300
536 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1305
535 플라즈마 기초입니다 [1] 1313
534 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1331
533 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1333
532 플라즈마 챔버 [2] 1335
531 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1340
530 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1347
529 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1352
528 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1364
» [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1365
526 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1368
525 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1368
524 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1375
523 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1408
522 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1413
521 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1419
520 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1421
519 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1423
518 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1425

Boards


XE Login