안녕하십니까 RF Power 공급 업체에 다니고 있는 직장인 입니다.

한가지 궁금한 점이 있어서 질문 올립니다.

현재 장비사에서 다른 Power 업체에서 사용하던 것을 저희 업체로 변경 하여 사용했는데

공정 결과 ER이 20% 낮게 나왔다고 합니다.

공정 시 같은 Power, 같은 ICP설비 안테나로 진행 하였으며 RF Matcher와 RF Generator의 Maker만 바뀐 상황입니다.

이와 관련하여 혹시 Matcher가 ER을 낮게 할 수 있는 원인이 될 수 있는지 여부가 궁금합니다.

혹시 관련된 자료 있으면 링크좀 부탁드리겠습니다.

감사합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
526 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1327
525 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1340
524 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1345
523 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1350
522 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1366
521 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1368
520 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1371
519 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1374
518 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1377
517 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1390
516 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1400
515 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1404
» Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1410
513 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1412
512 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1412
511 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1414
510 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1428
509 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1433
508 플라즈마 관련 교육 [1] 1433
507 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1440

Boards


XE Login